- 专利标题: 下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备
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申请号: CN202210223385.2申请日: 2022-03-07
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公开(公告)号: CN114525498B公开(公告)日: 2022-11-01
- 发明人: 刘亚南 , 张斌 , 陈晨 , 王登志 , 刘欢
- 申请人: 苏州迈为科技股份有限公司 , 苏州迈正科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号;
- 专利权人: 苏州迈为科技股份有限公司,苏州迈正科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州迈为科技股份有限公司,苏州迈正科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市吴江区芦荡路228号;
- 代理机构: 江苏瑞途律师事务所
- 代理商 邹超
- 主分类号: C23C16/513
- IPC分类号: C23C16/513 ; C23C16/455
摘要:
本发明公开了一种下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备,属于PECVD设备技术领域。本发明的下垂罩板,第一绝缘框设置在底板框上,第二绝缘框设置在第一绝缘框上;底板框由若干个底板连接形成,底板的下侧面设置有延伸部,延伸部与底板的下侧面相互垂直,第一绝缘框由若干个第一绝缘板拼合形成,第二绝缘框由若干个第二绝缘板拼合形成;底板的上侧面与第一绝缘板的下侧面之间,以及第一绝缘板的上侧面与第二绝缘板的下侧面之间,形成有若干个连通底板框内外两侧的条形孔,条形孔在底板框厚度方向上的高度为1‑20mm;本实施方式的下垂罩板能够极大程度地提高真空镀膜工艺的加工效率和良品率。
公开/授权文献
- CN114525498A 下垂罩板及带有该下垂罩板的PECVD设备 公开/授权日:2022-05-24
IPC分类: