一种特殊结构钻头背向增强激光加工透明材料的方法及装置
摘要:
本发明公开了一种特殊结构钻头背向增强激光加工透明材料的方法及装置,涉及激光加工领域,本发明方法为脉冲激光穿过透明材料聚焦在透明材料下表面与螺旋钻头上表面的交界处,经过螺旋钻头上表面的反射和吸收,在交界处激发出等离子体,同时脉冲激光产生的冲击应力和空化应力作用于交界处,所述螺旋钻头旋转,实现螺旋钻头辅助激光对透明材料的背向加工。本发明装置用于实现方法,包括激光辐照系统、辅助加工系统和运动控制系统。本发明利用透明材料的透光特性使激光焦点聚焦在透明材料下表面和钻头上表面的交界处,经过钻头表面的反射和吸收,在交界处激发出等离子体,实现背向材料去除。
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