发明公开
- 专利标题: 掩模、设置掩模的方法以及使用其设置显示面板的方法
-
申请号: CN202111313981.1申请日: 2021-11-08
-
公开(公告)号: CN114540755A公开(公告)日: 2022-05-27
- 发明人: 李璱 , 文敏浩 , 文英慜 , 孙智熙 , 宋升勇 , 任星淳
- 申请人: 三星显示有限公司
- 申请人地址: 韩国京畿道
- 专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人: 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址: 韩国京畿道
- 代理机构: 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司
- 代理商 王达佐; 刘铮
- 优先权: 10-2020-0158486 20201124 KR
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04 ; C23C14/24 ; C23C14/54 ; H01L51/56
摘要:
本申请涉及设置沉积掩模的方法、设置显示面板的方法和沉积掩模。设置掩模的方法包括:设置面对第二掩模层的第一掩模层;在第二掩模层中,设置对应于掩模的沉积开口的第一开口;设置辅助层,辅助层面对第一掩模层且第二掩模层位于它们之间并且覆盖第一开口;在辅助层中,设置对应于第一开口并将第一掩模层暴露于辅助层外部的第二开口;在第一掩模层中,通过使用辅助层作为掩模,设置对应于第一开口和第二开口的第三开口;以及设置辅助层与第一掩模层和第二掩模层分离,以设置具有包含第三开口的第一掩模层和包含第一开口的第二掩模层的沉积掩模。
IPC分类: