发明公开
CN114560465A 导气环及反应炉视镜系统
审中-实审
- 专利标题: 导气环及反应炉视镜系统
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申请号: CN202210360856.4申请日: 2022-04-07
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公开(公告)号: CN114560465A公开(公告)日: 2022-05-31
- 发明人: 张兆东 , 吴建宏 , 胡颖
- 申请人: 新特能源股份有限公司
- 申请人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- 专利权人: 新特能源股份有限公司
- 当前专利权人: 新特能源股份有限公司
- 当前专利权人地址: 新疆维吾尔自治区乌鲁木齐国家级高新技术产业开发区(新市区)甘泉堡高新技术产业园
- 代理机构: 北京天昊联合知识产权代理有限公司
- 代理商 罗建民; 张萍
- 主分类号: C01B33/021
- IPC分类号: C01B33/021
摘要:
本发明公开了一种导气环及反应炉视镜系统,导气环包括:导气环本体、设置于导气环本体内的吹扫气通道,吹扫气通道入口端朝向视镜,吹扫气通道出口端朝向反应炉内,通过吹扫气通道入口端向吹扫气通道内通入吹扫气对视镜吹扫,吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积。在反应炉的视镜装置处安装导气环,由于吹扫气通道入口端垂直于其中心轴的截面积大于吹扫气通道出口端垂直于其中心轴的截面积,所以吹扫气通道出口端的气体流速大于吹扫气通道入口端的气体流速,能提高对于视镜的吹扫效率,优化导气环的吹扫结构,优化吹扫过程,避免了反应炉连接的视镜表面硅粉沉积,清晰的观察视镜。
公开/授权文献
- CN114560465B 导气环及反应炉视镜系统 公开/授权日:2023-10-10