发明公开
- 专利标题: U型金属丝谐振式粘度传感器
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申请号: CN202210067467.2申请日: 2022-01-20
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公开(公告)号: CN114563309A公开(公告)日: 2022-05-31
- 发明人: 杨建国 , 吴德鸿 , 沈义涛 , 林波
- 申请人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 申请人地址: 山东省威海市文化西路2号
- 专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人: 哈尔滨工业大学(威海)
- 当前专利权人地址: 山东省威海市文化西路2号
- 代理机构: 威海科星专利事务所
- 代理商 初姣姣
- 主分类号: G01N11/16
- IPC分类号: G01N11/16
摘要:
本发明提出了一种U型金属丝谐振式MEMS粘度传感器,包括U型金属丝谐振敏感元件、频率信号发生器模块、阻抗测量模块以及微控制器模块,U型金属丝作为传感器的敏感元件,置于平行放置的两块圆形强力永久磁铁之间的磁场中,与该两块强力永久磁铁以及支撑构件组成的一体式结构,微控制器控制频率信号发生器模块产生扫频信号,激励U型金属丝在被测液体中产生稳定振动,利用阻抗测量模块检测各扫频信号激励下,置于被测液体中U型金属丝的阻抗,寻找谐振频率点,再通过U型金属丝在谐振频率点的阻抗变化量计算被测液体的粘度,本发明具有损耗低、尺寸小、不易损坏等优点,尤其适用于车载等复杂环境下油液粘度的检测。