U型金属丝谐振式粘度传感器
摘要:
本发明提出了一种U型金属丝谐振式MEMS粘度传感器,包括U型金属丝谐振敏感元件、频率信号发生器模块、阻抗测量模块以及微控制器模块,U型金属丝作为传感器的敏感元件,置于平行放置的两块圆形强力永久磁铁之间的磁场中,与该两块强力永久磁铁以及支撑构件组成的一体式结构,微控制器控制频率信号发生器模块产生扫频信号,激励U型金属丝在被测液体中产生稳定振动,利用阻抗测量模块检测各扫频信号激励下,置于被测液体中U型金属丝的阻抗,寻找谐振频率点,再通过U型金属丝在谐振频率点的阻抗变化量计算被测液体的粘度,本发明具有损耗低、尺寸小、不易损坏等优点,尤其适用于车载等复杂环境下油液粘度的检测。
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