本发明公开一种有机硅单体的制备方法，包括将氯硅烷高沸物与氯化剂在催化剂条件下反应生成有机硅单体。本发明还公开一种有机硅单体的制备系统，包括反应器、氯硅烷高沸物进料管线、氯化剂进料管线、以及催化剂进料管线，氯硅烷高沸物进料管线、氯化剂进料管线、以及催化剂进料管线均与反应器连通，分别用于向反应器内通入氯硅烷高沸物、氯化剂、以及催化剂；反应器用于使通入的氯硅烷高沸物和氯化剂在催化剂作用下反应生产有机硅单体。本发明还公开一种包含上述有机硅单体的制备系统的多晶硅系统。本发明可利用氯硅烷高沸物制备有机硅单体，既可以降低有机硅单体的生产成本，又可以实现氯硅烷高沸物的回收利用，还可以提高生产的多晶硅品质。