本发明公开了一种提高Inconel 625合金在含氧超临界水中耐腐蚀性的方法，属于材料处理和化学工艺领域。首先对Inconel 625合金进行精细的预处理，然后将预处理后的Inconel 625合金浸没在含4000ppm磷酸钠的去离子水中，使其表面在480℃，26MPa的密闭条件下发生500‑1000小时的化学和电化学反应。完全冷却后，对Inconel 625合金进行乙醇超声清洗，清洗后真空干燥和冷却，制得的Inconel 625合金表面带有耐腐蚀性的致密保护膜。与未经处理的光秃Inconel 625合金相比较，经过本发明处理得到的Inconel 625合金在450℃、26MPa，含5000ppm氧的超临界水中暴露150小时后表现出较小的腐蚀增重。合金表面存在由多层氧化物构成的保护膜，能为Inconel 625合金提供良好的防护，从而提高了Inconel 625合金耐含氧超临界水的高温腐蚀。