发明公开
- 专利标题： 压电振动片、压电振子、振荡器和压电振动片的制造方法
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申请号： CN202111441856.9申请日： 2021-11-30
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公开(公告)号： CN114584105A公开(公告)日： 2022-06-03
- 发明人: 小林高志 , 涉谷元规 , 小岛千圣 , 百濑友博
- 申请人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 申请人地址： 日本千叶县千叶市
- 专利权人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 当前专利权人： 精工电子水晶科技股份有限公司
- 当前专利权人地址： 日本千叶县千叶市
- 代理机构： 中国专利代理(香港)有限公司
- 代理商 石宏宇; 万欣
- 优先权： 2020-197859 20201130 JP
- 主分类号： H03H9/17
- IPC分类号： H03H9/17 ; H03H9/19 ; H03H3/04 ; H03H9/10
摘要：
本发明提供抑制频率调整之后的频率的改变且振动特性优异的高质量的压电振动片。压电振动片(3)具备具有一对振动臂部(31)的压电板(30)、配置于压电板(30)的表面和背面的电极膜(40)以及在振动臂部(31)的表面(64)侧处配置于电极膜(40)上的频率调整用配重金属膜(50)。振动臂部(31)的背面(63)具有压电板(30)露出的背侧露出部(61)。振动臂部(31)的表面(64)具有配重金属膜(50)和电极膜(40)被除去而压电板(30)露出的表侧露出部(62)。表侧露出部(62)的整体从压电板(30)的厚度方向观察而相对于背面(63)上的电极膜(40)隔开间隔而与背侧露出部(61)重叠。