发明授权
- 专利标题: 一种钼气相沉积成型一体化装置和方法
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申请号: CN202210241275.9申请日: 2022-03-11
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公开(公告)号: CN114606479B公开(公告)日: 2023-01-03
- 发明人: 孙院军 , 曾毅 , 郑泽华 , 丁向东 , 孙军
- 申请人: 西安交通大学
- 申请人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人: 西安交通大学
- 当前专利权人地址: 陕西省西安市咸宁西路28号
- 代理机构: 西安众和至成知识产权代理事务所
- 代理商 强宏超
- 主分类号: C23C16/44
- IPC分类号: C23C16/44 ; C23C16/448 ; C23C16/56 ; C23C16/06 ; B22F9/28 ; B22F3/10 ; B22F3/00
摘要:
本发明公开了一种钼气相沉积成型一体化装置和方法,成型装置包括钼源气化升华区、反应还原区、强化沉积区和在线固结成型区;以气态三氧化钼为原料,以均匀气相还原为基础,以电场强化定向沉积为核心,实现产品定型和高效沉积和在线固结成型。本发明以物理升华法制备高纯MoO3含钼气源,突破传统钼气相沉积法以氟化钼和羰基钼在原料制备过程中的毒性与沉积过程的污染;以均匀气相还原实现钼粒子尺度的精确控制;提供电场的定向作用实现钼粒子高效定向沉积,显著提升沉积效率;本发明克服传统钼气相沉积原料毒性、过程气体污染、效率低、成本高的缺点,实现钼金属材料短流程、高效、连续和绿色化制造,对钼金属材料成型技术的发展具有颠覆性影响。
公开/授权文献
- CN114606479A 一种钼气相沉积成型一体化装置和方法 公开/授权日:2022-06-10
IPC分类: