一种光神经接口微型LED阵列的制备方法
摘要:
本发明公开了一种光神经接口微型LED阵列的制备方法。该制备方法包括以下步骤:(1)在基底上沉积parylene层;(2)利用喷墨打印设备在parylene层上打印银布线层,打印结束后,在真空环境下进行后处理;(3)将粘结剂涂在银布线层上LED的连接位点,使用贴片机将微型LED黏附在银布线层上;(4)使用固化硅胶封装,形成器件。本发明利用喷墨打印技术替代微电子技术制备线路,提高了制备微型LED阵列的效率,有助于高效制备柔性光电器件。
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