发明公开
- 专利标题: 一种光神经接口微型LED阵列的制备方法
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申请号: CN202210183548.9申请日: 2022-02-28
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公开(公告)号: CN114613885A公开(公告)日: 2022-06-10
- 发明人: 康晓洋 , 刘鲁生 , 王爱萍 , 张静 , 王君孔帅
- 申请人: 复旦大学
- 申请人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人: 复旦大学
- 当前专利权人地址: 上海市杨浦区邯郸路220号
- 代理机构: 上海正旦专利代理有限公司
- 代理商 王洁平
- 主分类号: H01L33/00
- IPC分类号: H01L33/00 ; H01L33/62 ; H01L25/075 ; B41M1/26 ; B41M3/00 ; B41M5/00
摘要:
本发明公开了一种光神经接口微型LED阵列的制备方法。该制备方法包括以下步骤:(1)在基底上沉积parylene层;(2)利用喷墨打印设备在parylene层上打印银布线层,打印结束后,在真空环境下进行后处理;(3)将粘结剂涂在银布线层上LED的连接位点,使用贴片机将微型LED黏附在银布线层上;(4)使用固化硅胶封装,形成器件。本发明利用喷墨打印技术替代微电子技术制备线路,提高了制备微型LED阵列的效率,有助于高效制备柔性光电器件。
IPC分类: