本发明提出了一种蒸镀设备、钙钛矿电池蒸镀方法以及钙钛矿电池，该蒸镀设备包括：第一腔体，所述第一腔体内设置有基片支架、抽真空系统以及取片机构；第二腔体，所述第二腔体内设置有蒸镀系统，所述蒸镀系统包括第一坩埚和第二坩埚，所述第一坩埚和所述第二坩埚的加热温度不同，以在所述基片上蒸镀不同材料形成电池片；隔离门，所述隔离门打开时所述第一腔体与所述第二腔体连通，所述取片机构用于传送基片和电池片。由此，上下料均在第一腔室内完成，缩短设备长度，能够实现不间断镀膜，节省成本；第二腔体可同时完成多种材料的蒸镀，使电池片在不破空的条件下完成全部功能层的制备。