发明公开
- 专利标题： 基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法
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申请号： CN202210289665.3申请日： 2022-03-23
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公开(公告)号： CN114674465A公开(公告)日： 2022-06-28
- 发明人: 李智军 , 赵树弥 , 夏海生 , 汤燕 , 钟传宇 , 刘洋
- 申请人： 合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室)
- 申请人地址： 安徽省合肥市望江西路5089号,中国科学技术大学先进技术研究院未来中心B1205-B1208
- 专利权人： 合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室)
- 当前专利权人： 合肥综合性国家科学中心人工智能研究院(安徽省人工智能实验室)
- 当前专利权人地址： 安徽省合肥市望江西路5089号,中国科学技术大学先进技术研究院未来中心B1205-B1208
- 代理机构： 上海段和段律师事务所
- 代理商 黄磊
- 主分类号： G01L1/14
- IPC分类号： G01L1/14 ; G01L9/12 ; B32B27/28 ; B32B27/32 ; B32B27/06 ; B32B3/08 ; B32B7/12 ; B32B33/00 ; B32B27/36 ; B32B37/12 ; B32B37/15 ; A61B5/00
摘要：
本发明提供了一种基于柔性材料的电容式压力传感器及其制作方法，包括检查层、绝缘层、屏蔽层；检查层包括上电极层、下电极层以及介电层；介电层夹设在上电极层和下电极层之间，将上电极层和下电极层隔离开；绝缘层夹设在屏蔽层与上电极层之间，绝缘层夹设在屏蔽层与下电极层之间；屏蔽层连接地线。本发明引入柔性屏蔽层较大提高了传感器的稳定性，且传感器的柔韧性仍然得到保持。
