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一种微型电场传感器
Abstract:
本发明公开了一种微型电场传感器,包括:基底;所述基底的X向、Y向、Z向上至少设置一电场测量单元,电场测量单元包括屏蔽电极和感应电极,屏蔽电极相对感应电极运动用于使得感应电极上产生交变的电流。是一种具有单值输入输出特性、同时测量电磁场强度的三维电磁场传感器,该传感器结构简单、尺寸小、成本低、线性度好、准确度高,适合于推广应用。
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