本发明涉及一种表面溅射钨、微孔内沉积二氧化铪的滤线栅格及制造方法，属于X射线诊断成像设备领域。本发明采用的技术方案是：由多块高铅当量的玻璃微孔阵列单元拼接而成，玻璃微孔阵列单元上均布微孔通道，玻璃微孔阵列单元为厚度3mm、边长d的正六边形，d为10~20mm，玻璃微孔阵列单元上、下表面磁控溅射钨，形成有100~200nm厚度的金属钨镀层，微孔通道内原子层沉积二氧化铪，形成20nm的二氧化铪薄膜。本发明制得的滤线栅格光纤面板，相比采用铅玻璃直接制作微孔阵列作为滤线栅中空单元块，具有更好防散射性能，能够更好的提高图像对比度和分辨率，有利于消除摩尔纹现象对图像质量的影响。