发明公开
CN114724938A 激光结晶化装置
审中-实审
- 专利标题： 激光结晶化装置
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申请号： CN202111670008.5申请日： 2021-12-31
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公开(公告)号： CN114724938A公开(公告)日： 2022-07-08
- 发明人: 三宫晓史 , 柳济吉 , 朴喆镐 , 李惠淑 , 全镇弘 , 蔡永洙 , 韩圭完
- 申请人： 三星显示有限公司
- 申请人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人： 三星显示有限公司
- 当前专利权人地址： 韩国京畿道龙仁市
- 代理机构： 北京钲霖知识产权代理有限公司
- 代理商 李英艳; 玉昌峰
- 优先权： 10-2021-0000898 20210105 KR
- 主分类号： H01L21/268
- IPC分类号： H01L21/268 ; H01L21/67
摘要：
本公开涉及一种激光结晶化装置，根据实施例的激光结晶化装置可以包括：光源部；以及路径转换部，将从所述光源部入射的激光束转换成具有与第一方向平行的长轴和与第二方向平行的短轴的线形光束，所述路径转换部包括：入射窗，与所述第二方向平行地延伸；出射窗，与所述第一方向平行地延伸；第一反射部，位于所述入射窗的侧面；第二反射部，位于所述出射窗的侧面。
IPC分类:
