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公开(公告)号：CN114552368A
公开(公告)日：2022-05-27
申请号：CN202111246030.7
申请日：2021-10-26
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01S5/02253 , H01S5/02326 , H01S5/14
摘要： 激光装置可以包括：激光产生器，在第一方向上射出第一激光束和第二激光束；光束变换单元，包括第一激光束入射的第一光学系统和第二激光束入射的第二光学系统；和聚光透镜，使从光束变换单元射出的第一激光束和第二激光束折射来进行聚光，第一光学系统和第二光学系统分别包括：透镜组，包括使第一激光束和第二激光束各自的尺寸延伸且对其进行压缩的第一透镜至第m透镜(m是2以上的自然数)；和光束品质因子变换部，分别在第二方向上分割从透镜组射出的第一激光束和第二激光束来形成多个块光束，并在第三方向上排列多个块光束来进行射出，从第一光学系统的第m‑1透镜射出的第一激光束向第一光学系统的第m透镜的第三方向上的离轴入射。
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公开(公告)号：CN114724938A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202111670008.5
申请日：2021-12-31
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/67
摘要： 本公开涉及一种激光结晶化装置，根据实施例的激光结晶化装置可以包括：光源部；以及路径转换部，将从所述光源部入射的激光束转换成具有与第一方向平行的长轴和与第二方向平行的短轴的线形光束，所述路径转换部包括：入射窗，与所述第二方向平行地延伸；出射窗，与所述第一方向平行地延伸；第一反射部，位于所述入射窗的侧面；第二反射部，位于所述出射窗的侧面。
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公开(公告)号：CN113675072A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110523408.7
申请日：2021-05-13
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/02
摘要： 提供一种激光装置。根据一实施例的激光装置包括：激光模块，射出激光束；第一光学系统，扩展从所述激光模块射出的所述激光束在第一方向上的尺寸并射出，所述第一方向与射出方向交叉；第二光学系统，使将从第一光学系统射出的激光束沿第一方向分割的多个子光束沿与射出方向及第一方向交叉的第二方向排列而射出；第三光学系统，使从第二光学系统射出的激光束的能量在第一方向上均匀化；以及第四光学系统，减小从第三光学系统射出的激光束在第一方向上的尺寸。
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公开(公告)号：CN116072525A
公开(公告)日：2023-05-05
申请号：CN202211288711.4
申请日：2022-10-20
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/77
摘要： 激光退火装置可以包括：多个激光器；激光器控制器，控制所述多个激光器使得由所述多个激光器生成的多个激光束在彼此不同的时刻被射出；光束混合光学系统，混合调节了射出时刻的所述多个激光束来输出加工束；以及聚焦光学系统，调节所述加工束的焦点来输出所述加工束。所述加工束可以包括：第一激光束，具有第一脉冲；第二激光束，具有比所述第一脉冲延迟的第二脉冲；以及第三激光束，具有比所述第二脉冲延迟的第三脉冲，所述第一脉冲的第一峰值可以小于所述第二脉冲的第二峰值，所述第三脉冲的第三峰值可以小于所述第二峰值。
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公开(公告)号：CN110893508A
公开(公告)日：2020-03-20
申请号：CN201910835492.9
申请日：2019-09-05
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 本发明公开一种激光烧蚀装置和制造显示设备的方法。该激光烧蚀装置包括：激光光束发生器，包括用于产生激光光束的光束源，激光光束发生器使用固态激光器；输出光束发生器，用于使用激光光束产生输出光束；以及基板台架，包括其上布置有载体基板的至少一个台架，面板基板形成在载体基板上。输出光束发生器可以包括：混合器，用于通过将激光光束混合而产生具有彼此正交的两个线性偏振的混合激光光束；以及光成型机，用于使用混合激光光束产生输出光束。
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公开(公告)号：CN118841313A
公开(公告)日：2024-10-25
申请号：CN202311341662.0
申请日：2023-10-17
申请人： 三星显示有限公司
摘要： 激光结晶化装置包括：光源部，产生激光束；第一窗体，与光源部隔开，并使激光束透射；光束切割器，配置于第一窗体的下方，并阻断透射第一窗体的激光束的一部分；腔室，配置于光束切割器的下方；光束检测部，配置于腔室的内部；第一镜，配置于光束切割器的表面，并反射激光束；第二镜，配置于光束检测部上，并反射激光束；以及光束收集器，与第一窗体在第一方向上隔开，并消散反射的激光束。
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公开(公告)号：CN114717656A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202210003640.2
申请日：2022-01-05
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： C30B28/02 , C30B29/06 , C30B30/00 , C01B33/021 , H01L21/268
摘要： 根据实施例的激光晶化设备包括：光源单元，照射激光束；以及光学单元，激光束入射到光学单元，其中，光学单元包括在结合表面上彼此结合的第一部分和第二部分，并且基于与激光束的入射方向平行的方向，第一部分的第一宽度和第二部分的第二宽度在结合表面上彼此相同。
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公开(公告)号：CN114121625A
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN202110929812.4
申请日：2021-08-13
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： H01L21/268 , H01L21/02 , G02B27/10 , G02B27/09
摘要： 一种激光装置，包括：激光发生器，射出激光束；光束质量因子转换部，将从激光发生器射出的激光束在与射出方向交叉的第一方向上分割而形成多个子光束，并将多个子光束在与射出方向以及第一方向交叉的第二方向上排列并射出；望远透镜部，调节从光束质量因子转换部射出的激光束在第一方向上的尺寸，并包括具有第一至第n入射透镜的第一透镜阵列以及像差与所述第一透镜阵列不同且具有第一至第m射出透镜的第二透镜阵列，其中，m、n为1以上的自然数；以及聚光透镜，将从望远透镜部射出的激光束在所述第一方向上聚光。
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公开(公告)号：CN113552723A
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN202110301775.2
申请日：2021-03-22
申请人： 三星显示有限公司
IPC分类号： G02B27/09
摘要： 本公开涉及一种用于形成线束的设备。该设备包括激光源、望远镜单元、束变换单元、傅里叶单元、长轴光学单元以及短轴光学单元。激光源被配置成生成输入光。望远镜单元被配置成在垂直于光轴的X轴方向上放大输入光，光轴是输入光的行进方向。束变换单元被配置成将从望远镜单元入射的光划分为多个子列。傅里叶单元被配置成均匀地混合多个子列。长轴光学单元被配置成在X轴方向上均匀地分散由傅里叶单元混合的光。短轴光学单元被配置成将穿过长轴光学单元的光聚焦到参考平面上，其中，短轴光学单元包括凹反射表面，并且反射表面的曲率在X轴方向上保持恒定。
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