本发明公开了一种激光增强电化学沉积制备带有跨尺度微纳结构功能性薄膜的方法及装置，属于激光复合电化学制备领域。该方法利用激光辐照的热力效应和光电效应，增强辐照区域电沉积的速率和质量，在沉积镀层的同时选择诱导出跨尺度微纳结构，简化功能性表面制备工艺的同时可提高微纳结构精度和均匀性。采用激光增强电化学沉积方法，避免了刻蚀带来的基底损伤。与现有技术相比，本发明制备的功能性薄膜可以从基底上取下，粘附在工作表面，在不损伤零部件的前提下，提高工作性能、稳定性和使用寿命，且具有更换方便、降低后续维护成本的优势。