一种涡旋光束激励的精密光栅测量装置，本发明以携带拓扑电荷的涡旋光束作为光栅的激励光源，利用±m级衍射涡旋光束的干涉进行位移测量。涡旋光激励的精密光栅测量方法与装置中，被测位移移动p/m对应干涉花瓣图案旋转一周2π，则干涉图案旋转1°对应的被测位移量为p/360m。与采用传统光源激励的精密测量光栅方法相比，光栅干涉传感信号自身实现了更高的光学细分倍数。同时，光栅干涉传感信号的电子细分方法，由相位插值变为圆周角度细分，圆周具有360°的自然基准，避免了光栅干涉传感信号质量对相位插值细分有效性的影响，从原理上提升了精密光栅测量的分辨力及精度。