本发明公开了基于复合压电薄膜体声波谐振的材料弹性模量测量方法，属于薄膜材料的弹性模量测量技术领域，先构建复合压电薄膜结构，根据其中压电薄膜层的压电方程获得上下表面作用力表达式，及下电极层、上电极层和待测薄膜层的上下表面作用力表达式，类比得到复合压电薄膜结构的等效电路模型，进而求得总阻抗表达式，获得待测薄膜层的测量谐振频率和弹性模量取值区间内的理论谐振频率，采用二分法迭代更新弹性模量取值区间，直至测量谐振频率与理论谐振频率的差值在最小误差范围内，对应弹性模量为待测薄膜层的最终弹性模量。本发明采用间接测量法，仅更换待测薄膜层即可计算不同材料的弹性模量，具有结构简单、低成本、可在线重复测试的优点。