本发明涉及一种用于硅片清洗的旋转式清洗槽机构，包括储液槽以及置于储液槽内的多个花篮，储液槽包括内槽体以及外槽体，花篮通过内槽体内壁的支撑座设置在内槽体内，花篮内具有容多个硅片放置的第一腔室，储液槽内具有对第一腔室内的硅片进行旋转的驱动组件；转动轴的外部套设有轴套，轴套与转动轴之间通过移动组实现轴套与转动轴之间的同轴或偏心，花篮内的硅片随着轴套与转动轴的转动而在花篮内转动，当轴套与转动轴同轴时，驱动组件驱动两轴套同向圆周转动，当轴套与转动轴偏心时，驱动组件驱动两轴套上下交错式圆周转动。本发明具有如下优点：满足不同形状的硅片的高效清洗效果，提高硅片产品良率。