发明公开
- 专利标题: 一种自驱动摩擦电式压力传感器及其制备方法
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申请号: CN202210684364.0申请日: 2022-06-16
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公开(公告)号: CN114858312A公开(公告)日: 2022-08-05
- 发明人: 文震 , 孙旭辉 , 高镇秋
- 申请人: 苏州大学
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区苏州大学独墅湖校区912-0113
- 专利权人: 苏州大学
- 当前专利权人: 苏州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区苏州大学独墅湖校区912-0113
- 代理机构: 苏州高优盛知识产权代理事务所
- 代理商 白莉莉
- 主分类号: G01L1/00
- IPC分类号: G01L1/00 ; G01L9/00 ; B32B33/00
摘要:
本发明提供了一种自驱动摩擦电式压力传感器及其制备方法。所述自驱动摩擦电式压力传感器由下至上依次包括基底、电极层、介电层、间隔层、摩擦层以及屏蔽层;所述介电层由下至上依次包括柔性衬底层、离子凝胶材料层以及微结构材料层,所述离子凝胶材料层为多孔结构,所述微结构材料层的上表面间隔开形成有多个向上凸起的微结构。本发明的自驱动压力传感器在无需外电源供电的情况下具有同时具有超高灵敏度以及超宽检测范围,能够在已施加较大压力时识别微小的压力,增加了压力传感器的应用范围,如应用至物联网系统时,使得其在降低物联网系统功耗的同时扩大了压力传感器的使用范围。
公开/授权文献
- CN114858312B 一种自驱动摩擦电式压力传感器及其制备方法 公开/授权日:2024-03-26