一种自驱动摩擦电式压力传感器及其制备方法
摘要:
本发明提供了一种自驱动摩擦电式压力传感器及其制备方法。所述自驱动摩擦电式压力传感器由下至上依次包括基底、电极层、介电层、间隔层、摩擦层以及屏蔽层;所述介电层由下至上依次包括柔性衬底层、离子凝胶材料层以及微结构材料层,所述离子凝胶材料层为多孔结构,所述微结构材料层的上表面间隔开形成有多个向上凸起的微结构。本发明的自驱动压力传感器在无需外电源供电的情况下具有同时具有超高灵敏度以及超宽检测范围,能够在已施加较大压力时识别微小的压力,增加了压力传感器的应用范围,如应用至物联网系统时,使得其在降低物联网系统功耗的同时扩大了压力传感器的使用范围。
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