阵列基板及其制备方法、显示面板
摘要:
本申请提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板。阵列基板的制备方法包括,在基板上形成间隔设置的栅极和信号走线。在基板上形成栅极绝缘层。在栅极绝缘层上形成待处理有源层。在待处理有源层上形成第一光阻层。刻蚀待处理有源层,形成有源层,第一光阻层位于有源层远离栅极绝缘层的一侧。在栅极绝缘层上形成第二光阻层。刻蚀栅极绝缘层,在栅极绝缘层形成通孔,通孔正对信号走线。去除第一光阻层和第二光阻层。在栅极绝缘层上形成源极和漏极,源极和漏极中的一者经通孔连接信号走线。在制备过程中,保留有源层上的第一光阻层,可以后续的制程中,保护有源层,避免有源层氧化或者损坏。保障阵列基板的电学性能,显示面板的显示性能良好。
公开/授权文献
0/0