发明授权
- 专利标题: 阵列基板及其制备方法、显示面板
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申请号: CN202210514714.9申请日: 2022-05-12
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公开(公告)号: CN114864603B公开(公告)日: 2023-05-26
- 发明人: 张合静 , 刘振 , 张捷 , 许哲豪 , 郑浩旋
- 申请人: 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
- 申请人地址: 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室;
- 专利权人: 北海惠科光电技术有限公司,惠科股份有限公司
- 当前专利权人: 北海惠科光电技术有限公司,惠科股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室;
- 代理机构: 广州三环专利商标代理有限公司
- 代理商 杨振礼
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12
摘要:
本申请提供一种阵列基板及其制备方法、显示面板。阵列基板的制备方法包括,在基板上形成间隔设置的栅极和信号走线。在基板上形成栅极绝缘层。在栅极绝缘层上形成待处理有源层。在待处理有源层上形成第一光阻层。刻蚀待处理有源层,形成有源层,第一光阻层位于有源层远离栅极绝缘层的一侧。在栅极绝缘层上形成第二光阻层。刻蚀栅极绝缘层,在栅极绝缘层形成通孔,通孔正对信号走线。去除第一光阻层和第二光阻层。在栅极绝缘层上形成源极和漏极,源极和漏极中的一者经通孔连接信号走线。在制备过程中,保留有源层上的第一光阻层,可以后续的制程中,保护有源层,避免有源层氧化或者损坏。保障阵列基板的电学性能,显示面板的显示性能良好。
公开/授权文献
- CN114864603A 阵列基板及其制备方法、显示面板 公开/授权日:2022-08-05
IPC分类: