- 专利标题: 薄膜晶体管、显示基板和薄膜晶体管的制备方法
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申请号: CN202210423517.6申请日: 2022-04-21
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公开(公告)号: CN114883343B公开(公告)日: 2024-03-26
- 发明人: 张合静 , 刘振 , 杨帆 , 许哲豪 , 李荣荣
- 申请人: 北海惠科光电技术有限公司 , 惠科股份有限公司
- 申请人地址: 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室;
- 专利权人: 北海惠科光电技术有限公司,惠科股份有限公司
- 当前专利权人: 北海惠科光电技术有限公司,惠科股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广西壮族自治区北海市工业园区北海大道东延线336号广西惠科科技有限公司二期A座4楼A-430室;
- 代理机构: 深圳市百瑞专利商标事务所
- 代理商 邢涛
- 主分类号: H01L27/12
- IPC分类号: H01L27/12 ; H01L21/77
摘要:
本申请公开了一种薄膜晶体管、显示基板和薄膜晶体管的制备方法,薄膜晶体管包括依次设置的缓冲层、有源层、栅极绝缘层、栅极金属层、源极金属层、漏极金属层以及钝化层,栅极金属层、源极金属层和漏极金属层间隔设置,有源层包括至少两个导体部和一个第一半导体部,两个导体部分别设置在第一半导体部的两端,并与第一半导体部电连接;栅极金属层的投影覆盖第一半导体部,源极金属层和漏极金属层分别通过栅极绝缘层的第一过孔和第二过孔与对应的两个导体部连接。本申请将设置导体部和半导体部以形成有源层,不需要对半导体层进行离子轰击以得到导体化的半导体层,避免导体化的半导体层的电阻大,导致开态电流不够,引起显示不均。
公开/授权文献
- CN114883343A 薄膜晶体管、显示基板和薄膜晶体管的制备方法 公开/授权日:2022-08-09
IPC分类: