- 专利标题: 一种自成型的拓扑相变纳米存储器件结构、其制备和应用
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申请号: CN202210467671.3申请日: 2022-04-29
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公开(公告)号: CN114883487B公开(公告)日: 2024-08-02
- 发明人: 程伟明 , 苏睿 , 肖睿子 , 陈家宝 , 缪向水
- 申请人: 华中科技大学
- 申请人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人: 华中科技大学
- 当前专利权人地址: 湖北省武汉市洪山区珞喻路1037号
- 代理机构: 武汉华之喻知识产权代理有限公司
- 代理商 彭翠; 廖盈春
- 主分类号: H10N70/20
- IPC分类号: H10N70/20 ; H10B63/10
摘要:
本发明属于半导体信息存储和人工突触器件技术领域,更具体地,涉及一种自成型的拓扑相变纳米存储器件结构、其制备和应用。通过在SXO(X=Fe,Co)薄膜上生长活泼金属纳米颗粒,利用金属纳米颗粒易于被氧化的性质来吸收SXO中部分O离子,此时金属纳米颗粒下方的SXO薄膜处于缺氧状态,形成阻值较高的BM‑SXO相阻挡层,此时PV‑SXO导电丝的尺寸由金属纳米颗粒的尺度决定,且PV‑SXO导电丝的方向被一定程度限定为垂直于薄膜面内方向,以实现氧化物基存储器件的一致性与可靠性。
公开/授权文献
- CN114883487A 一种自成型的拓扑相变纳米存储器件结构、其制备和应用 公开/授权日:2022-08-09