一种自成型的拓扑相变纳米存储器件结构、其制备和应用
摘要:
本发明属于半导体信息存储和人工突触器件技术领域,更具体地,涉及一种自成型的拓扑相变纳米存储器件结构、其制备和应用。通过在SXO(X=Fe,Co)薄膜上生长活泼金属纳米颗粒,利用金属纳米颗粒易于被氧化的性质来吸收SXO中部分O离子,此时金属纳米颗粒下方的SXO薄膜处于缺氧状态,形成阻值较高的BM‑SXO相阻挡层,此时PV‑SXO导电丝的尺寸由金属纳米颗粒的尺度决定,且PV‑SXO导电丝的方向被一定程度限定为垂直于薄膜面内方向,以实现氧化物基存储器件的一致性与可靠性。
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