一种承重真空高压电极
摘要:
本发明涉及一种承重真空高压电极,属于材料表面处理工艺装备技术领域。该电极由组合电极柱、电极密封模块以及电极支撑模块组成。组合电极柱包括通过内螺套连接的上段外螺杆和下段封装电极,绝缘套筒下端插装在法兰套管中;电极密封模块包括与法兰套管固连的刀口法兰;法兰套管的上端法兰具有嵌装密封圈的中部凹陷,刀口法兰的环槽内形成带周圈刃口的凸台;电极支撑模块包括位于下部支柱上的至少一级过渡支柱;相邻支柱的相对端面具有嵌装支撑垫圈的沉窝,周圈由支撑垫圈圆周面朝外形成Z字形间隙;Z字形间隙小于辉光厚度。本发明承重性能好、可靠性高,可以杜绝真空泄漏以及阴阳极之间的短路,基本实现了免维护。
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