本发明公开一种用于数字阵列模块的自动清洗方法，采用用于数字阵列模块的整体清洗装置，当将待清洗的数字阵列模块固定于运载装置上，耐压清洗腔体内达到真空度后真空装置暂停工作清洗溶剂经液体加压装置加压后注入耐压清洗腔体中以对数字阵列模块进行喷淋清洗；喷淋清洗完成后热交换装置开始工作，对耐压清洗腔体底部的清洗溶剂进行热交换升温，使清洗溶剂逐步达到沸点，使耐压清洗腔体内保持负压状态加速溶剂气化；真空装置出口端将溶剂的饱和蒸汽送入缓冲罐，饱和蒸汽在高压和大温差的双重作用下快速液化被压回加压储液罐；本发明实现了数字阵列模块整体的自动化清洗，溶剂回收循环使用提高了环保性，能耗也较传统溶剂清洗机大大降低。