基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质
摘要:
本发明提供了一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质,属于镀膜厚度检测的技术领域,解决了现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的问题。一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法,包括:获取数据的时域信号;调整窗滤波器的窗范围,得到最优窗滤波器;利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号;对滤波后的时域信号进行傅里叶变换,得到数据的频谱信号;判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置;若否,则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置,返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号的步骤。
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