- 专利标题: 基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质
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申请号: CN202210566605.1申请日: 2022-05-23
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公开(公告)号: CN114964014B公开(公告)日: 2024-07-23
- 发明人: 张逸竹 , 曲秋红 , 何明霞
- 申请人: 天津大学四川创新研究院 , 莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司
- 申请人地址: 四川省成都市天府新经济产业园B6号楼13层;
- 专利权人: 天津大学四川创新研究院,莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司
- 当前专利权人: 天津大学四川创新研究院,莱仪特太赫兹(天津)科技有限公司
- 当前专利权人地址: 四川省成都市天府新经济产业园B6号楼13层;
- 代理机构: 北京天下创新知识产权代理事务所
- 代理商 任崇
- 主分类号: G01B11/06
- IPC分类号: G01B11/06
摘要:
本发明提供了一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质,属于镀膜厚度检测的技术领域,解决了现有技术在对较薄的多层镀膜进行测厚时存在运算速度较慢、测量效率较低的问题。一种基于太赫兹的多层膜厚测量方法,包括:获取数据的时域信号;调整窗滤波器的窗范围,得到最优窗滤波器;利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号;对滤波后的时域信号进行傅里叶变换,得到数据的频谱信号;判断最优窗滤波器是否移动到时域信号结束位置;若否,则最优窗滤波器移动到下一个驻点位置,返回利用最优窗滤波器对数据的时域信号进行窗滤波,得到滤波后的时域信号的步骤。
公开/授权文献
- CN114964014A 基于太赫兹的多层膜厚测量方法及可读存储介质 公开/授权日:2022-08-30