Invention Publication
- Patent Title: 纳米突起构造体检查装置以及纳米突起构造体检查方法
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Application No.: CN202210099537.2Application Date: 2022-01-27
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Publication No.: CN114965461APublication Date: 2022-08-30
- Inventor: 佐藤友纪 , 土屋诏一 , 浅井正孝 , 浅野刚史 , 内村将大 , 立山望美
- Applicant: 泰星能源解决方案有限公司 , 丰田自动车株式会社
- Applicant Address: 日本东京都;
- Assignee: 泰星能源解决方案有限公司,丰田自动车株式会社
- Current Assignee: 泰星能源解决方案有限公司,丰田自动车株式会社
- Current Assignee Address: 日本东京都;
- Agency: 北京集佳知识产权代理有限公司
- Agent 周宏志
- Priority: 2021-021403 20210215 JP
- Main IPC: G01N21/84
- IPC: G01N21/84 ; G01N21/88 ; G01N21/55 ; G01N21/47 ; G01N21/956
Abstract:
本发明涉及纳米突起构造体检查装置以及纳米突起构造体检查方法。这里公开的纳米突起构造体检查装置具备检查光照射部和色彩亮度计。检查光照射部向金属的表面亦即被检查面照射检查光。色彩亮度计的拍摄元件的拍摄光轴相对于因被检查面引起的检查光的镜面反射方向倾斜配置。色彩亮度计通过利用拍摄元件接受包括镜面反射光以及漫反射光的来自被检查面的检查光的反射光中的漫反射光来检查被检查面中的纳米级的突起构造体。
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