本申请适用于微波技术领域，提供了一种控制频率源能量精准输出的方法、装置和电子设备。该控制频率源能量精准输出的方法应用于具有多个频率源通道的微波发生装置，上述方法包括：在微波发生装置对被加热物体进行加热过程中，获取在第一工作频率和第一工作相位下的各个频率源通道的发射信号的第一功率和反射信号的第二功率；根据各个频率源通道的第一功率和第二功率，确定被加热物体在第一工作频率和第一工作相位下的驻波信息；根据驻波信息确定目标发射功率；基于目标发射功率，向微波发生装置的频率源中的数控衰减器发送第一衰减指令。上述方法能够提高对信号发射功率的控制精度。