一种氨水辅助退膜方法
摘要:
本发明涉及一种氨水辅助退膜方法,所述方法为在基板水平通过退膜槽时,氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋,所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。具体包括如下步骤,S1:氨水保存,将氨水保存在塑料桶中;S2:通过负压机接入导管,将氨水通入退膜槽中,氨水在力的作用下进入退膜槽;S3:在基板水平通过退膜槽时,氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气,并在后续不断喷进的氨水打入挤压,氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面,氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水,完成退膜。本发明氨水辅助退膜方法具有退膜干净、不易被腐蚀和造成残留等优点。
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