发明公开
- 专利标题: 一种氨水辅助退膜方法
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申请号: CN202210541743.4申请日: 2022-05-19
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公开(公告)号: CN115003042A公开(公告)日: 2022-09-02
- 发明人: 邹佳祁 , 廖润秋 , 罗练军 , 王哲毅
- 申请人: 胜宏科技(惠州)股份有限公司
- 申请人地址: 广东省惠州市惠阳区淡水镇新桥村行诚科技园
- 专利权人: 胜宏科技(惠州)股份有限公司
- 当前专利权人: 胜宏科技(惠州)股份有限公司,胜华电子(惠阳)有限公司
- 当前专利权人地址: 516000 广东省惠州市惠阳区淡水镇新桥村行诚科技园
- 代理机构: 广东创合知识产权代理有限公司
- 代理商 潘丽君
- 主分类号: H05K3/06
- IPC分类号: H05K3/06
摘要:
本发明涉及一种氨水辅助退膜方法,所述方法为在基板水平通过退膜槽时,氨水在以喷淋方式对板面进行喷淋,所述喷淋方向为上下向中间喷射氨水进行辅助退膜的方法。具体包括如下步骤,S1:氨水保存,将氨水保存在塑料桶中;S2:通过负压机接入导管,将氨水通入退膜槽中,氨水在力的作用下进入退膜槽;S3:在基板水平通过退膜槽时,氨水在碱性条件下使得氨水平衡左移释放出部分氨气,并在后续不断喷进的氨水打入挤压,氨气不断产生、不断挤压退膜药水垂直打向板面,氨气在板面不断放出的同时冲击未被腐蚀残留的退膜药水,完成退膜。本发明氨水辅助退膜方法具有退膜干净、不易被腐蚀和造成残留等优点。
公开/授权文献
- CN115003042B 一种氨水辅助退膜方法 公开/授权日:2024-09-27