本发明涉及一种高均匀性石英棒材的沉积装置及方法。装置包括有用于沉积反应的腔体，腔体内上方设置旋转升降吊杆，对应于旋转升降吊杆的下方一侧安设有喷灯，沉积腔体的两侧分别设置进风端和抽风端，用于抽排沉积腔体内未沉积的多余反应物，其特征在于所述腔体进风端为由小到大的锥筒形结构，进风端设置风速仪，风速仪与进风控制装置连接控制进风机的风速V1，所述腔体的抽风端为由大到小的锥筒形结构，设有压力监控装置以及可调蝶阀，在腔体内沉积区域附近安设有风速仪、压力检测仪和压力补偿装置。本发明能够保证沉积区的压力稳定可控，实现腔体内风速均匀、稳定，热场稳定，从而提高沉积稳定性，实现棒材的高均匀性制备。