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公开(公告)号：CN108298810A
公开(公告)日：2018-07-20
申请号：CN201810209949.0
申请日：2018-03-14
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种PCVD沉积装置，包括长筒形加热炉和安设在加热炉炉腔的谐振腔，所述的谐振腔通过波导伸出加热炉与轴向往复装置及微波源相联，所述的长筒形加热炉包括有壳体，壳体内壁安设保温层，加热炉炉腔沿周向安设有加热元件，其特征在于在加热炉壳体和保温层之间敷设有吸波层，所述的吸波层由形状相同的凸块均匀布设构成。本发明可使泄漏至加热炉炉腔的微波在凸块之间多次反射折射而被吸收，达到降低加热炉内的驻波强度，从而提高沉积的轴向均匀性，改善光纤预制棒芯棒的参数。由于减少了炉内驻波对光纤参数的影响，相应减少了泄漏到车间内微波的强度，降低了对车间操作人员身体的伤害。本发明通过改善芯棒轴向均匀性，增加了合格芯棒的长度，降低了光纤制造成本。
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公开(公告)号：CN108046583A
公开(公告)日：2018-05-18
申请号：CN201711337234.5
申请日：2017-12-14
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种提高PCVD工艺沉积均匀性的方法，将纯二氧化硅玻璃衬管的两端分别焊接气端延长管和泵端延长管，将焊接后的玻璃衬管装夹到PCVD车床旋转夹头上，玻璃衬管穿过微波谐振腔且玻璃衬管的沉积段位于保温炉炉膛内，旋转夹头带动玻璃衬管旋转，保温炉开始加温至设定的温度值，PCVD沉积开始，其特征在于在气端旋转夹头与保温炉气端炉口之间的气端延长管上增设一段预热管段，所述的预热管段近保温炉炉口，对应预热管段设置加温装置，通过加温装置对经过预热管段进入玻璃衬管沉积段的反应气体进行预热，预热后的反应气体进入玻璃衬管的沉积段参与沉积反应。本发明不仅可有效避免进气段沉积层裂纹的产生，而且能保持沉积均匀性，从而提高沉积芯棒的有效棒长。
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公开(公告)号：CN107162401A
公开(公告)日：2017-09-15
申请号：CN201710398104.6
申请日：2017-05-31
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明公开了一种制备超低衰减光纤的方法，在含有芯层、内包层、下陷包层结构的玻璃预制棒中通过掺杂碱金属，使芯层全部或部分含有碱金属，再经过熔缩、腐蚀、熔实得到含有碱金属的光纤预制棒，光纤预制棒通过拉丝得到含有碱金属的超低衰减光纤，其特征在于采用管内气相沉积掺杂或扩散法掺杂碱金属时，在玻璃预制棒的进气端串接一缩颈玻璃管，碱金属源化合物置于该缩颈玻璃管内，且该缩颈玻璃管的至少一端的直径小于玻璃预制棒的直径。本发明能够获得高浓度的芯层碱金属含量，并且获得较低温度下的碱金属蒸汽引入到所需预制棒的芯层中，制备工艺简单，设备更加实用。
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公开(公告)号：CN115682962A
公开(公告)日：2023-02-03
申请号：CN202211255841.8
申请日：2022-10-13
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种光掩模基板外形尺寸测量系统及方法，属于半导体和显示面板光掩模基板制造领域，该系统包括：样品转移单元、样品运动单元及光学测量系统；样品转移单元，用于将被测光掩模基板在待检区域和测试区域间进行转移；样品运动单元，用于配合光学测量系统调整被测光掩模基板的俯仰角度、旋转角度和高度；光学测量系统，用于测量被测光掩模基板的外形尺寸。通过本发明提供一种精度高、重复性高、无损伤、性价比高的光掩模基板外形尺寸测量系统及方法。
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公开(公告)号：CN114993925A
公开(公告)日：2022-09-02
申请号：CN202210693019.3
申请日：2022-06-17
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
Abstract: 本发明公开了一种测试光掩膜基板耐辐照性能的系统及方法，属于半导体光掩膜基板生产制造技术领域，激光辐照单元，用于对通过样品运送单元运送的待测试光掩膜基板样品进行预设次数的激光辐照；透过率测试单元，用于在激光辐照单元对待测试光掩膜基板样品进行辐照前，对通过样品运送单元运送的待测试光掩膜基板样品进行辐照前透过率测试，并在激光辐照单元对待测试光掩膜基板样品进行预设次数的辐照后，进行辐照后透过率测试，根据辐照前后待测试光掩模基板样品的透过率变化情况衡量待测试光掩膜基板的耐辐照性能。通过本发明可以解决光掩膜基板的耐辐照性能测试问题。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN109020185B
公开(公告)日：2021-05-28
申请号：CN201810876301.9
申请日：2018-08-03
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种微结构光纤预制棒的制备方法，采用管内等离子体化学气相沉积工艺,混合气体从衬管的一端进入管内，衬管另一端为气体排出端，衬管另一端连接真空泵，控制衬管内压力10~50mBar，沉积玻璃态二氧化硅时，谐振腔功率为4000W或4000W以上，衬管内压力为10~20mBar，此沉积成非多孔微结构层，沉积多孔粉末状态二氧化硅时，谐振腔功率为4000W以下，衬管内压力为15~40mBar，此沉积成多孔微结构层，沉积完毕后，将以沉积衬管加温熔缩成实芯光纤预制棒，所述的光纤预制棒包括多孔微结构层和玻璃态二氧化硅层。本发明可根据设计要求调控不同谐振腔功率和衬管内压力，得到满足要求的多孔尺寸和分布。该方法工艺简便，适于工业化生产。
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公开(公告)号：CN108467194B
公开(公告)日：2020-09-29
申请号：CN201810210623.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明公开了一种用于PCVD设备中衬管的自动夹紧装置，包括固定端以及旋转端，其中，固定端包括固定支撑轴套以及气管；旋转端包括旋转密封夹紧套、旋转轴套、同步带轮以及连接法兰；旋转密封夹紧套包括本体以及位于本体内的橡胶内层，该橡胶内层与本体之间的夹层中空设置且与气管连通，橡胶内层形成有中空外凸的耐热橡胶圈，在气管中通入压缩气体时耐热橡胶圈膨胀，进而耐热橡胶圈与衬管外周紧密贴合以夹紧衬管，本体上开设进气孔与固定支撑轴套内腔连通以供工作气体进入衬管内。本发明提出的用于PCVD设备中衬管的自动夹紧装置，实现了衬管的自动夹紧。
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公开(公告)号：CN109231811A
公开(公告)日：2019-01-18
申请号：CN201811369397.6
申请日：2018-11-16
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明涉及一种光纤预制棒掺杂设备，其特征在于包括有长筒形加热保温炉，加热保温炉两端的外侧分别设置进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头，所述的进气旋转密封夹头和排气旋转密封夹头分别与掺杂气体气源和尾气收集处理装置相连通。本发明可对掺杂预制棒玻璃衬管进行整体加热，加热均匀，掺杂质量好。由于可对掺杂预制棒玻璃衬管进行整体加热和整体掺杂，因此不仅使加工时间大幅缩短，有效提高了生产效率，而且也提高了掺杂的均匀性。避免了预制棒玻璃衬管温度的反复升降，减少了玻璃衬管的析晶风险和应力不均。本发明结构简单，使用操作方便。
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公开(公告)号：CN108467194A
公开(公告)日：2018-08-31
申请号：CN201810210623.X
申请日：2018-03-14
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
Abstract: 本发明公开了一种用于PCVD设备中衬管的自动夹紧装置，包括固定端以及旋转端，其中，固定端包括固定支撑轴套以及气管；旋转端包括旋转密封夹紧套、旋转轴套、同步带轮以及连接法兰；旋转密封夹紧套包括本体以及位于本体内的橡胶内层，该橡胶内层与本体之间的夹层中空设置且与气管连通，橡胶内层形成有中空外凸的耐热橡胶圈，在气管中通入压缩气体时耐热橡胶圈膨胀，进而耐热橡胶圈与衬管外周紧密贴合以夹紧衬管，本体上开设进气孔与固定支撑轴套内腔连通以供工作气体进入衬管内。本发明提出的用于PCVD设备中衬管的自动夹紧装置，实现了衬管的自动夹紧。
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公开(公告)号：CN107879618A
公开(公告)日：2018-04-06
申请号：CN201711103929.7
申请日：2017-11-10
Applicant: 长飞光纤光缆股份有限公司
IPC: C03B37/018
CPC classification number: C03B37/01846 , C03B37/01823
Abstract: 本发明涉及一种PCVD沉积过程中防堵稳压的方法，用玻璃衬管为基管，装夹于PCVD沉积机床上，衬管穿过微波谐振腔并置于保温炉内，两端由旋转夹头装夹，谐振腔产生高频功率沿衬管轴向往复移动进行PCVD沉积，参与沉积的混合气体从衬管的一端进入管内，衬管的另一端为排气端，排气端通过管道连接真空泵，在衬管排气端内安设一石英玻璃集尘插管，集尘插管外径与衬管内孔相配置，嵌入衬管排气端，收集沉积于排气端的粉尘，其特征在于在集尘插管内放置一根柱状玻璃滚动棒，玻璃滚动棒随集尘插管的旋转而滚动，通过滚动去除附着在集尘插管内壁的粉尘颗粒。本发明能避免大小颗粒粉尘在衬管排气端的堆积，稳定沉积过程中的管内压力，保持了PCVD沉积的连续运行，从而提高沉积质量和沉积加工的效率。
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