本公开实施例提供一种基板载具，包括：第一承载板，所述第一承载板上设置有多个第一容纳部；第二承载板，与所述第一承载板相对设置并连接，所述第二承载板上对应于所述第一容纳部的位置设置有第一通孔，所述第二承载板远离所述第一承载板的表面为承载面，用于承托待成膜的基板；多个伸缩结构，所述伸缩结构包括：驱动结构以及与所述驱动结构连接的顶针，所述驱动结构设置在所述第一容纳部中，并配置为驱动所述顶针沿所述第一通孔的轴向升降，以将所述基板顶起或使得所述顶针与所述基板无接触。本公开实施例还提供一种电化学沉积设备。