本发明公开了一种基于总功率同散射机制的高效极化时序InSAR方法，包括首先获取研究监测区域多极化时序SAR影像，并进行SAR影像预处理；然后对干涉图进行基于总功率等散射机制的极化优化；最后通过总功率等散射机制优化后的干涉相位，根据选点准则获取高质量像元作为监测点，去除轨道误差、DEM残差、大气相位，对高质量像元监测点进行三维相位解缠，获得监测点形变量，完成研究区域的形变监测；本发明方法具有监测结果可靠、监测点密度高、计算效率高，可很好应用于大区域地表形变快速、准确和有效反演的特点。