发明公开
- 专利标题： 用于对保持环进行分类的机器学习
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申请号： CN202210224774.7申请日： 2022-03-07
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公开(公告)号： CN115035401A公开(公告)日： 2022-09-09
- 发明人: E·刘 , A·J·纳耿加斯特 , C·C·加勒森 , H·张 , Z·朱
- 申请人： 应用材料公司
- 申请人地址： 美国加利福尼亚州
- 专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人： 应用材料公司
- 当前专利权人地址： 美国加利福尼亚州
- 代理机构： 上海专利商标事务所有限公司
- 代理商 汪骏飞; 侯颖媖
- 优先权： 63/157,512 20210305 US
- 主分类号： G06V20/10
- IPC分类号： G06V20/10 ; G06V10/44 ; G06V10/762 ; G06V10/764 ; G06V10/82 ; G06N3/04 ; G06N3/08 ; G06N20/00
摘要：
本申请公开了用于对保持环进行分类的机器学习。一种用于优化抛光的方法，包括对于安装在特定承载头上的多个保持环中的每个相应保持环，使用坐标测量机对安装在特定承载头上的相应保持环的底表面执行测量并且收集使用相应保持环抛光的基板的相应去除轮廓。基于对保持环的底表面和相应去除轮廓的测量来训练机器学习模型。
