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公开(公告)号：CN115035401A
公开(公告)日：2022-09-09
申请号：CN202210224774.7
申请日：2022-03-07
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： G06V20/10 , G06V10/44 , G06V10/762 , G06V10/764 , G06V10/82 , G06N3/04 , G06N3/08 , G06N20/00
摘要： 本申请公开了用于对保持环进行分类的机器学习。一种用于优化抛光的方法，包括对于安装在特定承载头上的多个保持环中的每个相应保持环，使用坐标测量机对安装在特定承载头上的相应保持环的底表面执行测量并且收集使用相应保持环抛光的基板的相应去除轮廓。基于对保持环的底表面和相应去除轮廓的测量来训练机器学习模型。
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公开(公告)号：CN118809437A
公开(公告)日：2024-10-22
申请号：CN202410886010.3
申请日：2021-06-25
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： B24B37/30 , B24B37/32 , B24B37/005
摘要： 一种用于研磨系统的承载头包括外壳、柔性膜、第一多个压力供应管线、第二多个压力供应管线及阀组件。柔性膜限定多个可独立加压腔室。阀组件具有多个阀，其中多个阀中的每一相应阀耦接至来自多个可独立加压腔室的相应压力腔室。每一相应阀经配置以选择性地将相应压力腔室耦接至来自一对压力供应管线的一个压力供应管线，该对压力供应管线包括来自第一多个压力供应管线的压力供应管线及来自第二多个压力供应管线的压力供应管线。
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公开(公告)号：CN113573844B
公开(公告)日：2023-12-08
申请号：CN202080019700.9
申请日：2020-02-24
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： B24B37/32
摘要： 一种用于化学机械抛光的承载头包括：基部、致动器、基板安装表面和固定器。固定器包括通过柔性件连接的内段和外段。固定器的内段的底部提供下表面的内部部分，所述下表面的内部部分被配置成接触抛光垫。内段的内表面从下表面的内边缘向上延伸，以周向地围绕基板安装表面。固定器的内段被定位成接收来自致动器的可控制的负载，并且可相对于基部垂直地移动。固定器的外段的底部提供下表面的外部部分。固定器的外段垂直地固定到基部。固定器的内段可相对于固定器的外段垂直地移动。
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公开(公告)号：CN115008337A
公开(公告)日：2022-09-06
申请号：CN202210208134.7
申请日：2022-03-04
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： B24B37/10 , B24B37/005 , B24B37/30 , B24B37/34 , B24B41/00
摘要： 本申请公开了利用浮动边缘控制的抛光承载头。一种用于在抛光系统中固持基板的承载头包括：壳体；环形主体，通过致动器相对于壳体是竖直地可移动的；第一环形隔膜，经固定以在环形主体下方移动，从而在第一环形隔膜与环形主体之间形成至少一个下可加压腔室；以及至少一个压力供应线，连接至至少一个下可加压腔室。环形主体包括上部以及从该上部向下伸出的至少一个下杆，其中，该至少一个下杆位于至少一个下可加压腔室内部。
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公开(公告)号：CN113573844A
公开(公告)日：2021-10-29
申请号：CN202080019700.9
申请日：2020-02-24
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： B24B37/32
摘要： 一种用于化学机械抛光的承载头包括：基部、致动器、基板安装表面和固定器。固定器包括通过柔性件连接的内段和外段。固定器的内段的底部提供下表面的内部部分，所述下表面的内部部分被配置成接触抛光垫。内段的内表面从下表面的内边缘向上延伸，以周向地围绕基板安装表面。固定器的内段被定位成接收来自致动器的可控制的负载，并且可相对于基部垂直地移动。固定器的外段的底部提供下表面的外部部分。固定器的外段垂直地固定到基部。固定器的内段可相对于固定器的外段垂直地移动。
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公开(公告)号：CN115135448B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202180014973.9
申请日：2021-06-25
申请人： 应用材料公司
IPC分类号： B24B37/30 , B24B37/005 , H01L21/67
摘要： 一种用于研磨系统的承载头包括外壳、柔性膜、第一多个压力供应管线、第二多个压力供应管线及阀组件。柔性膜限定多个可独立加压腔室。阀组件具有多个阀，其中多个阀中的每一相应阀耦接至来自多个可独立加压腔室的相应压力腔室。每一相应阀经配置以选择性地将相应压力腔室耦接至来自一对压力供应管线的一个压力供应管线，该对压力供应管线包括来自第一多个压力供应管线的压力供应管线及来自第二多个压力供应管线的压力供应管线。
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公开(公告)号：CN117943972A
公开(公告)日：2024-04-30
申请号：CN202310359795.4
申请日：2023-04-06
申请人： 应用材料公司
摘要： 一种化学机械抛光装置具有：压板，所述压板支撑抛光垫；载体头，所述载体头包括刚性外壳并被配置为将基板的表面固持抵靠所述抛光垫；电动机，所述电动机用于产生在所述压板与所述载体头之间的相对运动，以便抛光所述基板；原位载体头监测系统，所述原位载体头监测系统包括传感器，所述传感器被定位成与所述外壳相互作用并且检测所述外壳的振动运动并基于检测到的振动运动来生成信号；以及控制器。所述控制器被配置为基于从所述原位载体头监测系统接收的信号来生成载体头状态参数的值，以及基于所述载体头状态参数来改变抛光参数或生成警报。
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公开(公告)号：CN115087518A
公开(公告)日：2022-09-20
申请号：CN202180014450.4
申请日：2021-06-22
申请人： 应用材料公司
摘要： 一种用于在抛光系统中固持基板的承载头具有：包括承载板的外壳、紧固至外壳的第一柔性膜、以及紧固至承载板的多个第二可独立操作的压电致动器。第一柔性膜具有上表面，并且具有提供基板安装表面的下表面。压电致动器定位在第一柔性膜上方，以便独立地调整第一柔性膜的上表面上的压缩压力。
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公开(公告)号：CN115135449B
公开(公告)日：2024-07-09
申请号：CN202180014741.3
申请日：2021-06-17
申请人： 应用材料公司
摘要： 一种承载头包括：壳体；支撑组件，所述支撑组件具有支撑板，所述支撑板柔性地连接至壳体以便能竖直移动；多个流体不可渗透的阻挡层，所述多个流体不可渗透的阻挡层从支撑板的底部突出以限定在其底侧处开口的多个凹槽；以及气动控制线。支撑板与壳体之间的体积包括一个或多个可独立加压的第一腔室，以在一个或多个第一区中在支撑板的顶表面上施加压力。阻挡层被定位和配置成使得当平坦基板被装载到承载头中时，阻挡层接触基板并将支撑板与10基板之间的体积分成多个第二腔室。气动控制线耦合至多个凹槽以提供多个可独立加压的第二区。
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公开(公告)号：CN115135449A
公开(公告)日：2022-09-30
申请号：CN202180014741.3
申请日：2021-06-17
申请人： 应用材料公司
摘要： 一种承载头包括：壳体；支撑组件，所述支撑组件具有支撑板，所述支撑板柔性地连接至壳体以便能竖直移动；多个流体不可渗透的阻挡层，所述多个流体不可渗透的阻挡层从支撑板的底部突出以限定在其底侧处开口的多个凹槽；以及气动控制线。支撑板与壳体之间的体积包括一个或多个可独立加压的第一腔室，以在一个或多个第一区中在支撑板的顶表面上施加压力。阻挡层被定位和配置成使得当平坦基板被装载到承载头中时，阻挡层接触基板并将支撑板与10基板之间的体积分成多个第二腔室。气动控制线耦合至多个凹槽以提供多个可独立加压的第二区。
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