本发明涉及一种易剥离的超薄载体铜箔的制备方法，属于铜箔的制造技术领域。超薄载体铜箔包括载体铜箔层、剥离层、超薄铜箔层，剥离层包括金属层和有机层；金属层由Fe、B以及Co、Ni中的一种的非晶合金通过磁控溅射的方式得到，有机层由含有含氮有机物的有机液通过吸附处理得到，从而在铜箔的上表面形成表面均匀、性能稳定的复合剥离层。将经过吸附处理的载体箔浸入电镀铜溶液中，进行超薄铜箔的电沉积制备。本发明可以有效避免载体铜箔与极薄铜箔之间难剥离等问题，复合剥离层是通过磁控溅射和有机吸附的方式制备，剥离层极薄且均匀，且复合剥离层与载体箔以及极薄铜箔之间的结合力有异，能使压合后的超薄铜箔易于完全、稳定地与载体箔剥离。