基于图像处理的半导体自动分区方法
摘要:
本发明涉及半导体生产检测及图像处理技术领域,具体涉及一种基于图像处理的半导体自动分区方法。该方法获得半导体电路板表面图像的灰度信息、色调信息和深度信息。利用色调信息筛除背景像素点,利用灰度信息和深度信息对元件像素点进行聚类分组。根据聚类产生的边界点对聚类结果进行评价,获得角度突变点数量和边界点邻域方差信息反馈出的整体效果评价指标。根据角度突变点和整体效果评价指标调整聚类操作的参数,获得最优聚类结果。根据相邻最优聚类区域之间的区域相似性将相邻最优聚类区域合并,获得多个元件区域。本发明通过自适应调整聚类参数,使得元件分区效果更好,分区方法的适用性更强。
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