本发明公开了一种衬底加工方法、发光二极管制造方法及衬底、发光二极管，所述衬底加工方法包括将晶棒进行切割处理，获得衬底，对衬底的切割表面进行刻蚀处理，以对衬底的翘曲度进行初步修复，对衬底的翘曲部分进行隐切处理，以对衬底的翘曲度进行进一步补偿修复。本发明所述的衬底加工方法不包括研磨、铜抛等制程，采用刻蚀和隐切步骤降低线切后衬底产生的内应力及翘曲度，消除了研磨制程对于衬底造成再次损伤，简化了衬底加工步骤，节省了衬底材料，进而降低了衬底的生产成本。