一种基于1D3V统计理论建模的微放电阈值预测方法及系统
摘要:
本发明公开了一种基于1D3V统计理论建模的微放电阈值预测方法及系统,将微放电过程中电子的运动速度从一维拓展到三维,通过优化后的数值建模减少电子轨迹计算量,根据材料的SEY参数模型快速求解对应有效二次电子倍增率,考虑了电子运动的角动量对微放电过程的影响。实际工程中,特别是对于同轴结构,器件内的弯曲表面会增强电子角动量对微放电建立的影响。
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