发明公开
- 专利标题: 一种新型HBC太阳能电池的制备方法
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申请号: CN202210839368.1申请日: 2022-07-18
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公开(公告)号: CN115101632A公开(公告)日: 2022-09-23
- 发明人: 丁建宁 , 杨建超 , 李绿洲 , 李云朋 , 马志杰 , 董旭
- 申请人: 扬州大学
- 申请人地址: 江苏省扬州市邗江区大学南路88号
- 专利权人: 扬州大学
- 当前专利权人: 扬州大学
- 当前专利权人地址: 江苏省扬州市邗江区大学南路88号
- 代理机构: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所
- 代理商 刘卉
- 主分类号: H01L31/20
- IPC分类号: H01L31/20 ; H01L31/0747
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种新型HBC太阳能电池的制备方法,通过对单晶硅基体进行抛光,后对单晶硅基体进行正面制绒,以及对制绒后的单晶硅基体背面蒸发沉积NiOx薄膜,对单晶硅基体背面沉积本征氢化非晶硅层,通过激光对背面的本征氢化非晶硅层和NiOx薄膜进行开槽,开出N型材料要沉积的区域,采用HF对单晶硅基体进行表面疏水处理,对单晶硅基体背面依次沉积本征氢化非晶硅层和n型氢化非晶硅层,正面依次沉积本征氢化非晶硅层和SiNx层,通过激光对背面本征氢化非晶硅层和n型氢化非晶硅层进行开槽,使NiOx层露出,背面沉积TCO层等步骤,使得制备的HBC电池成本更低、产能大,且掩膜层极易被剥离的技术问题。
公开/授权文献
- CN115101632B 一种新型HBC太阳能电池的制备方法 公开/授权日:2023-06-23
IPC分类: