一种新型HBC太阳能电池的制备方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,尤其涉及一种新型HBC太阳能电池的制备方法,通过对单晶硅基体进行抛光,后对单晶硅基体进行正面制绒,以及对制绒后的单晶硅基体背面蒸发沉积NiOx薄膜,对单晶硅基体背面沉积本征氢化非晶硅层,通过激光对背面的本征氢化非晶硅层和NiOx薄膜进行开槽,开出N型材料要沉积的区域,采用HF对单晶硅基体进行表面疏水处理,对单晶硅基体背面依次沉积本征氢化非晶硅层和n型氢化非晶硅层,正面依次沉积本征氢化非晶硅层和SiNx层,通过激光对背面本征氢化非晶硅层和n型氢化非晶硅层进行开槽,使NiOx层露出,背面沉积TCO层等步骤,使得制备的HBC电池成本更低、产能大,且掩膜层极易被剥离的技术问题。
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