本发明公开了一种液体靶装置。该液体靶装置包括准直器，所述准直器具有准直通道，所述准直通道具有入口端和出口端；真空膜，所述真空膜位于所述出口端，且所述真空膜至少用于对所述准直通道内的真空区域进行密封；靶体腔，所述靶体腔位于所述真空膜的背离所述出口端的一侧，且所述靶体腔的腔口设有靶腔膜，所述靶腔膜与所述真空膜相对设置；靶体冷却法兰，所述靶体冷却法兰位于所述靶体腔的背离所述准直器的一侧，所述靶体冷却法兰内设有靶体冷却腔，所述靶体冷却腔至少部分地围绕在所述靶体腔的外周围。根据据本发明的液体靶装置，结构简单，制造方便，提高了靶体腔的冷却效果，可以显著提高同位素的产量。