Invention Grant
- Patent Title: 一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法
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Application No.: CN202210773343.6Application Date: 2022-07-01
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Publication No.: CN115116857BPublication Date: 2024-08-02
- Inventor: 彭庶瑶 , 王佑任 , 彭晓飞
- Applicant: 江西蓝微电子科技有限公司
- Applicant Address: 江西省吉安市井冈山经济技术开发区
- Assignee: 江西蓝微电子科技有限公司
- Current Assignee: 江西蓝微电子科技有限公司
- Current Assignee Address: 江西省吉安市井冈山经济技术开发区
- Agency: 昆明合众智信知识产权事务所
- Agent 蒋兴艳
- Main IPC: H01L21/48
- IPC: H01L21/48 ; H01L23/49 ; H01J37/34 ; C21D1/26 ; C21D9/52 ; C22F1/02 ; C22F1/14
Abstract:
本发明公开的属于键合丝技术领域,具体为一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法,包括合金基材熔炼‑拉丝‑成品退火‑绕线‑覆膜‑入库操作步骤,本发明通过氩气喷出至靶扣板表面,硅钢块被线圈磁场磁化,使硅钢块变成磁体,阴极电缆与阳极电缆通过电源箱施加2000v电压,在两极电场的作用下,使阳极导电条与阴极座之间产生辉光放电,电子在电场的作用下加速飞向基体的过程中与氩原子发生碰撞,电离出大量的氩离子和电子,电子在运动过程中不断的与氩原子发生碰撞电离出大量的氩离子轰击靶材,呈中性的靶原子沉积在键合丝上成膜,键合丝在公转、自转、与收卷的过程中使键合丝进行均匀覆膜,与电镀方法防止氧化腐蚀等方式相比,本发明的绝缘覆合金键合丝成本更低,附着力更强,且在抗腐蚀的同时实现了键合丝表面绝缘,适用范围更广泛。
Public/Granted literature
- CN115116857A 一种绝缘覆合金键合丝及其制备方法 Public/Granted day:2022-09-27
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IPC分类: