Invention Publication
- Patent Title: 用于检查样品的显微镜及操作这种显微镜的对应方法
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Application No.: CN202210299944.8Application Date: 2022-03-25
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Publication No.: CN115128069APublication Date: 2022-09-30
- Inventor: 斯特凡·克莱斯特
- Applicant: 莱卡微系统CMS有限责任公司
- Applicant Address: 德国威茨勒
- Assignee: 莱卡微系统CMS有限责任公司
- Current Assignee: 莱卡微系统CMS有限责任公司
- Current Assignee Address: 德国威茨勒
- Agency: 北京清亦华知识产权代理事务所
- Agent 宋融冰
- Priority: 21164875.3 20210325 EP
- Main IPC: G01N21/84
- IPC: G01N21/84 ; G01N21/01 ; G02B21/00 ; G02B21/06 ; G02B21/34

Abstract:
本发明构思涉及一种用于对样品(120)进行显微检查的显微镜(100),其包括:用于照明样品(120)的照明光学器件(118);用于对样品(120)成像的成像光学器件(124);用于接收样品(120)的样品室(106),样品室(106)具有提供到样品室中的通路的门(308);布置在样品室(106)的第一侧(230)上的第一风扇组件(134),通过布置在第一侧(230)上、在样品室的第一侧壁(132)中的至少一个第一开口(138),在第一可替代方案中用于将气氛吹入样品室,或在第二可替代方案中用于将气氛排出样品室;以及至少一个第二开口(148),其布置在第二侧(240)上、在样品室(106)的第二侧壁(142)中,在第一可替代方案中用于允许气氛从样品室(106)内离开样品室,或在第二可替代方案中用于允许气氛从样品室(106)外进入样品室。
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