本发明提供一种可检测出与以往相比格外微小的异物的光透射性积层体的检查方法。本发明光透射性积层体的检查方法是在将光透射性积层体逐片固定在半空中的状态下进行透射检查，检测光透射性积层体中的8μm～50μm尺寸的缺陷。例如，缺陷的检测包含以下步骤：将规定倍率的光学系统的焦点对准光透射性积层体的第一主面的表面，并以光学系统扫描光透射性积层体，而制作出缺陷的XY坐标图；使光学系统的焦点从光透射性积层体的第一主面的表面向厚度方向内侧偏移规定距离，并以光学系统扫描光透射性积层体，而制作出另一缺陷的XY坐标图；及，整合制作出的缺陷的XY坐标图。