一种光学补偿器相位基准定位装置及方法
摘要:
本发明公开了一种光学补偿器相位基准定位装置及方法,主要包含两楔形晶体,沉靠平台,旋转平台,位移平台,直线位移轨道,卡盘,波纹管。两楔形晶体相互滑移,改变通光厚度,进而改变两相互垂直光振动间产生的附加光程差或相位差。本专利采用固定基准旋转对称,在+θ与‑θ下测量两楔形晶体设计相位下的位置,进而精确标定光学补偿器内两楔形晶体偏移量ΔX,沉靠平台表面基准凸起高度δ,引入直线位移偏差σ=δsin(θ)tan(θ)。常规微分头分度为1E‑2mm。该偏差对偏移量ΔX影响是恒定的,并且可通过计算修正。
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