一种双面topcon电池的制备方法
摘要:
本发明涉及太阳能电池技术领域,具体公开一种双面topcon电池的制备方法。所述制备方法包括以下步骤:对N型硅片进行双面制绒;对所述制绒后硅片进行背面抛光;在所述抛光后硅片的正面粘结镂空掩膜板,得预处理硅片;在所述预处理硅片的正背面分别形成双面设有钝化结构的第一硅片;去除所述第一硅片正面的镂空掩膜板;在所述硅片的正面进行硼扩散;在所述硅片的背面进行磷扩散;将所述硅片进行退火处理;在所述硅片的正面沉积氧化铝层,然后在正背面分别沉积减反射膜后印刷栅线电极,烧结,得所述双面topcon电池。本申请采用粘结方式将镂空掩膜板贴合于硅片正面,能够实现一次性完成隧穿钝化层在硅片正背面的沉积。
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