- 专利标题: 一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法
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申请号: CN202210822718.3申请日: 2022-07-12
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公开(公告)号: CN115198257B公开(公告)日: 2024-02-02
- 发明人: 姚玉
- 申请人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市宝安区新安街道留仙二路中粮商务公园1栋14楼1403A
- 专利权人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 当前专利权人: 深圳创智芯联科技股份有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市宝安区新安街道留仙二路中粮商务公园1栋14楼1403A
- 主分类号: C23C18/44
- IPC分类号: C23C18/44 ; C23C18/18 ; C23C18/52 ; C01G7/00
摘要:
本发明公开了一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法。该配液包括以下质量浓度的组分:金盐2‑15g/L、复合加速剂30‑60mg/L、络合剂5‑20g/L、晶核细化剂20‑60mg/L、还原剂20‑60mg/L、稳定剂30‑90mg/L、复合抑制剂5‑15mg/L、分散剂35‑70mg/L、去极化剂10‑30mg/L。该发明得到的金镀层无色差,致密平整,无脆性折镀及裂纹等现象,金缸稳定性优良达到半年以上不会出现发红等问题,本配方所采用的试剂均属环保型。
公开/授权文献
- CN115198257A 一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法 公开/授权日:2022-10-18
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