一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法
摘要:
本发明公开了一种晶圆封装的无氰沉金环保型配液及化学镀方法。该配液包括以下质量浓度的组分:金盐2‑15g/L、复合加速剂30‑60mg/L、络合剂5‑20g/L、晶核细化剂20‑60mg/L、还原剂20‑60mg/L、稳定剂30‑90mg/L、复合抑制剂5‑15mg/L、分散剂35‑70mg/L、去极化剂10‑30mg/L。该发明得到的金镀层无色差,致密平整,无脆性折镀及裂纹等现象,金缸稳定性优良达到半年以上不会出现发红等问题,本配方所采用的试剂均属环保型。
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