发明公开
- 专利标题: 一种片上红外感存算一体的光电器件及其制备方法
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申请号: CN202210669468.4申请日: 2022-06-14
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公开(公告)号: CN115224156A公开(公告)日: 2022-10-21
- 发明人: 王钰言 , 孙嘉成 , 郑纪元 , 吴嘉敏 , 戴琼海
- 申请人: 清华大学
- 申请人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 专利权人: 清华大学
- 当前专利权人: 清华大学
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区清华园1号
- 代理机构: 北京清亦华知识产权代理事务所
- 代理商 赵静
- 主分类号: H01L31/18
- IPC分类号: H01L31/18 ; H01L31/113 ; G11C13/04
摘要:
本发明公开了一种片上红外感存算一体的光电器件及其制备方法。制备片上红外感存算一体的光电器件的方法包括:提供衬底;在衬底的一侧表面上形成电荷俘获层;通过定点转移的方法在电荷俘获层远离衬底的一侧形成隧穿层;通过定点转移的方法在隧穿层远离衬底的一侧形成感光层;在感光层远离衬底的表面分别形成源极和漏极,源极和漏极间隔设置;在形成源极和漏极之后,对感光层进行电感耦合等离子刻蚀;在源极和漏极之间形成覆盖层,覆盖层覆盖感光层远离衬底的部分表面,由此,利用该方法制备得到的器件可以将红外传感器和存储器有效集成,将红外数据实时转换并存储为电信号进而实现光数据通信与计算。
公开/授权文献
- CN115224156B 一种片上红外感存算一体的光电器件及其制备方法 公开/授权日:2023-06-06
IPC分类: