本发明适用于新能源材料领域，提供了一种具有自修复能力的无机柔性热电薄膜器件，所述无机柔性热电薄膜器件的两端分别为冷端和热端，所述无机柔性热电薄膜器件包括多片热电薄膜主体、衬底及电极，多片所所述热电薄膜主体及电极分别设于所述衬底上，多片所述热电薄膜主体通过所述电极串联。该无机柔性热电薄膜器件结构简单，形状可控，可以根据应用场景的不同做出相应调整而不影响其自修复能力；首次在无机热电薄膜中实现了自修复功能；利用磁控溅射工艺，可以大面积制备，且衬底材料便宜，生产成本低。